多名业内人士接受韩联社电话采访时表示，一批日本EUV抗蚀剂于21日运抵韩国。这是日本7月4日对韩采取限贸措施的49天里首批运抵韩国的日产EUV抗蚀剂。

8月8日，日本政府首次审批了EUV 光刻胶和蚀刻气体的出口，得到审批的材料将供应至三星电子。EUV光刻胶或将出货至三星电子EUV制程华城工厂，蚀刻气体则出货至中国西安工厂。

20日，日本政府再度对光阻剂发出出口许可，此举是日本祭出管制令来第2度允许光阻剂出口至韩国，而获得出口许可的对象为接获三星订单的日本厂商。不过，氟化氢等其他更严格的材料尚未获得批准。

据韩联社报道，业内人士表示，EUV抗蚀剂用于军事目的的可能性极低，日本政府也没有限制出口的理由，但仍存在不确定性。