据台媒digitimes报道，台积电加速先进制程推进，近期扩大释单，累计EUV光刻机至2021年底将超过50台。

据悉，台积电目前累计EUV设备采购规模已逾30台，光是5/3nm据点的南科目前就达20台。

据此前供应链消息，台积电虽然失去了华为的订单，但AMD、英伟达、联发科、高通与苹果迎来了出货旺季，已陆续加大7nm、5nm订单。其中，7nm现已提前达到每月13万片产能，年底约将再增至14万片。而5nm目前由每月5万片逐步提升，原定2021年上半8万~9万片月产能目标，近日已上调至10.5万片，产能仍旧供不应求。

反观三星电子，其EUV设备累计采购量目前不到20台，据业内人士估算，三星2021年仍不到25台。另外，EUV POD(光罩传送盒)的采购量远低于预期，估计仅达台积电四分之一，甚至只有五分之一，由设备、零组件采购来看，台积电与三星在制程、接单实力差距正在持续扩大。